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    자료번호 637
    제목 저장캐비닛의 가스 실린더 보관에 관한 기술지침
    설명

    o 안전보건기술지침의 개요
      - 작성자 : 이근원

     

    o 목적
      - 이 지침은 반도체 관련 기술연구를 수행하거나 작업에 사용되는 저장캐비닛에 가스를 함께 보관하거나 분리해서 두는 가스 실린더의 보관에 필요한 사항을 제시하는 데 그 목적이 있다.

     

    o 적용범위
      - 이 지침은 기체 또는 액체 화학물질이 들어있는 내용적이 1,000L 까지의 모든 형태의 실린더에 적용된다. 또한, 독성물질이나 인화성물질을 취급하는 반도체 공정 등에서 실린더 가스를 사용하거나, 나누어 주는데 적용되며, 실린더에서 공급되는 퍼지가스에도 적용된다. 다만, 일종의 공정장비에 통합되어 있는 화학실린더의 용접과 같은 부수적인 목적을 위한 제조시설에 사용되는 화학물질에 대해서는 적용하지 않는다.

    출처(소관) 안전보건공단
    작성일 2022/12/20 19:59
    첨부파일1 P-149-2016 저장캐비닛의 가스 실린더 보관에 관한 기술지침.pdf (용량 : 156.9K / 다운로드수 : 17) 다운로드

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